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低温泵中低温吸附过程的热力学处理

引用本文：	刘炳坤 ,谢珏 ,任家生 ,崔秀华.低温泵中低温吸附过程的热力学处理[J].电子器件,1987(1).

作者姓名：	刘炳坤谢珏任家生崔秀华

摘要：	低温冷凝和低温吸附在低温泵抽气过程中占有重要作用,因此,从热力学的观点出发研究低温吸附现象对了解低温抽气过程具有重要意义.本文根据气相——吸附相两相平衡的原理,推导了有关的热力学函数,其中包括焓、熵、吸附热、吉布斯自由能等,并得出了发生在
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