| 适用SAW器件的高C轴取向ZnO薄膜制备及性能分析 |
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| 引用本文： | 王芳,杨保和.适用SAW器件的高C轴取向ZnO薄膜制备及性能分析[J].光电子．激光,2005,16(1):28-31. |
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| 作者姓名： | 王芳 杨保和 |
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| 作者单位： | 天津理工大学光电信息系,天津,300191;天津理工大学光电信息系,天津,300191 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目(60276001)，天津市自然科学基金资助项目(023601711) |
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| 摘 要： | 探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析。研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻率提高至107Ω·cm数量级;600℃为最佳退火处理温度,600℃退火处理的ZnO薄膜粗糙度小(RMS为2.486nm),且晶粒均匀致密,表面平整,是适于制备声表面波(SAW)器件的高C轴取向、高电阻率及较平坦的ZnO薄膜。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 射频磁控溅射 声表面波(SAW)器件 退火 C轴取向 |
| 文章编号： | 1005-0086(2005)01-0028-04 |
Deposition and Properties of Highly C-oriented ZnO Thin Films for SAW Devices |
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| WANG Fang,YANG Bao-he.Deposition and Properties of Highly C-oriented ZnO Thin Films for SAW Devices[J].Journal of Optoelectronics·laser,2005,16(1):28-31. |
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| Authors: | WANG Fang YANG Bao-he |
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| Affiliation: | WANG Fang,YANG Bao-he~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin films RF magnetron sputtering surface acoustic wave(SAW) devices anneal C-oriented |
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