| 采用空间光调制器的光变图像光刻系统 |
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| 引用本文： | 陈林森,解剑锋,沈雁,汪振华,邵洁,陆志伟.采用空间光调制器的光变图像光刻系统[J].光电子．激光,2004,15(5):561-564. |
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| 作者姓名： | 陈林森 解剑锋 沈雁 汪振华 邵洁 陆志伟 |
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| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,苏州,215006 |
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| 基金项目： | 教育部跨世纪人才基金资助项目 |
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| 摘 要： | 用激光干涉型光学头产生干涉条纹，采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻，分辨率可达5080dpi，平均运行效率达8O00 dots s(1270pdpi)以上。研制了大幅面激光光刻系统，给出了实验结果。
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| 关 键 词： | 3D图像 干涉 光学头 空间光调制器 SLM 光变图像光刻系统 激光光刻系统 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)05-0561-04 |
Optical Variable Image Laser Lithographic System with SLM |
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| CHEN Lin-sen.Optical Variable Image Laser Lithographic System with SLM[J].Journal of Optoelectronics·laser,2004,15(5):561-564. |
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| Authors: | CHEN Lin-sen |
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| Affiliation: | CHEN Lin-sen~ |
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| Abstract: | A novel optical configuration was proposed to realize the fast etching of optical variable device on laser lithographic system.The grating interference head is used to generate the interferential fringes and the spatial light modulator(SLM) is used as the sub-image input device.The resolution of optical variable device can be achieved up to 5 080 dpi.This system can be run in very high efficient mode with 8 000 dots/s.The large format laser lithographic system has been fabricated and the result is given. |
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| Keywords: | 3D image interference optical head SLM |
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