| 基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法 |
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| 引用本文： | 金占雷,谭久彬,王雷,刘玉涛.基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法[J].光电子．激光,2008,19(5):647-652. |
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| 作者姓名： | 金占雷 谭久彬 王雷 刘玉涛 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法.采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的激光强度,利用两条S曲线相加斜率渐变的特性同时实现了消除曝光量分布折角和减缓曝光量变化速率的目的,从而改善闭合区域的曝光量分布,提高接头的闭合质量.实验结果表明,采用S曲线光强控制接头闭合方法可以很好地优化对接区域的曝光量分布,增加有效过渡区域长度,在不降低加工效率的基础上,提高激光直写质量.
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| 关 键 词： | 激光直写 S曲线光强控制 闭合 曝光量 曲线 光强控制 激光直写 结构接头 闭合方法 control laser intensity based method 加工效率 长度 过渡区域 优化 结果 实验 改善 变化速率 分布 曝光量 特性 |
| 文章编号： | 1005-0086(2008)05-0647-05 |
| 修稿时间： | 2007年5月22日 |
A laser direct writing close-up method based on laser intensity S-curve control |
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| JIN Zhan-lei,TAN Jiu-bin,WANG Lei,LIU Yu-tao.A laser direct writing close-up method based on laser intensity S-curve control[J].Journal of Optoelectronics·laser,2008,19(5):647-652. |
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| Authors: | JIN Zhan-lei TAN Jiu-bin WANG Lei LIU Yu-tao |
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| Affiliation: | JIN Zhan-lei,TAN Jiu-bin,WANG Lei,LIU Yu-tao(Institute of Ultra-precision Optical & Electronic Instrument Enineering,Harbin Insitute of Technology,Harbin,Heilongjiang 150001,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser direct writing S-curve laser intensity control close-up exposure dose |
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