| NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作 |
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| 引用本文： | 李向红,刘俊,张斌珍,唐军.NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作[J].光电子．激光,2013(2):292-296. |
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| 作者姓名： | 李向红 刘俊 张斌珍 唐军 |
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| 作者单位： | 中北大学 电子测试技术国家重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 电子测试技术国家重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 电子测试技术国家重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 电子测试技术国家重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展“973”计划(2012CB723401)资助项目 (中北大学 电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051) |
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| 摘 要： | 为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特性和光滑度;通过比较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能;然后利用PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵列;最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列,最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到100%,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼结构的部分光学特性。
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| 关 键 词： | NOA73 曲面微透镜阵列 光刻胶熔融法 PDMS 光学特性 |
| 收稿时间： | 2012/8/21 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2012/9/22 0:00:00 |
Fabrication of NOA73curved microlens arrays |
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| LI Xiang-hong,LIU Jun,ZHANG Bin-zhen and TANG Jun.Fabrication of NOA73curved microlens arrays[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(2):292-296. |
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| Authors: | LI Xiang-hong LIU Jun ZHANG Bin-zhen and TANG Jun |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Electronic Test Technology,Key Laboratory on Instrumen tation Science and Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China;State Key Laboratory of Electronic Test Technology,Key Laboratory on Instrumen tation Science and Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China;State Key Laboratory of Electronic Test Technology,Key Laboratory on Instrumen tation Science and Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China;State Key Laboratory of Electronic Test Technology,Key Laboratory on Instrumen tation Science and Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | norland optical adhesive (NOA) 73 curved microlens array photoresist meltin g method PDMS optical properties |
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