| 迈克尔逊干涉型加速度地震检波器集成芯片 |
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| 引用本文： | 吴波,陈才和,丁桂兰,崔宇明.迈克尔逊干涉型加速度地震检波器集成芯片[J].光电子．激光,2003,14(8):791-794. |
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| 作者姓名： | 吴波 陈才和 丁桂兰 崔宇明 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(49874031) |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的迈克尔逊干涉型混合集成光学加速度地震检波器。以尺寸为38mm×6mm×2mm的X切Y传LiNbO3晶体为基底,详细分析并设计了迈克尔逊干涉芯片的双Y分支波导、相位调制器和偏振器。对成功制作的迈克尔逊干涉芯片进行了通光测试,并对检测器进行了测试。结果表明,检波器及芯片性能良好,振动与检波器输出信号吻合良好。该检波器系统的主要设计参数为:自然频率3549Hz,相位检测灵敏度ΔΦ/a为1.1×10-2rad/m/s2,工作频带0～1065Hz。
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| 关 键 词： | 迈克尔逊干涉 混合集成光学 加速度地震检波器 LiNbO3晶体 集成芯片 |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)08-0791-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月3日 |
Integrated Optical Chips in a Michelson Interference Acceleration Seismic Geophone |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hybrid-integrated Michelson interference Ti:LiNbO_3 acceleration geophone |
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