| 19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究 |
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| 引用本文： | 薛玲玲,陈波.19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J].光电子．激光,2003,14(1):17-19. |
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| 作者姓名： | 薛玲玲 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光机与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (6993 80 2 0 )，中国科学院长春光机与物理研究所创新基金资助项目 (ZJ0 0 Q11B) |
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| 摘 要： | 基于微通道板（MCP）探测器件设计一套成像系统，用于对波长为19.5nm的极紫外（EUV）光进行成像。结果获得了宽度为3mm的狭缝的像，实验测得175μm的成像系统的空间分辨率。并分析了影响系统分辨率的因素及为提高系统分辨率所应采取的措施。
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| 关 键 词： | 光电成像系统 极紫外 EUV 分辨率 激光等离子体 单色仪 微通道板 MCP |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)01-0017-03 |
| 修稿时间： | 2002年8月20日 |
The Experimental Study on the Resolution of the Electro-optical Imaging System at 19.5 nm |
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| XUE Ling ling,CHEN Bo.The Experimental Study on the Resolution of the Electro-optical Imaging System at 19.5 nm[J].Journal of Optoelectronics·laser,2003,14(1):17-19. |
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| Authors: | XUE Ling ling CHEN Bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | extreme ultraviolet(EUV) resolution laser produced plasma monochromator microchannel plate(MCP) |
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