| PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究 |
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| 引用本文： | 曹丽冉,陈新亮,薛俊明,倪牮,赵鹏,张德坤,孙建,赵颖,耿新华.PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究[J].光电子．激光,2009,20(5). |
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| 作者姓名： | 曹丽冉 陈新亮 薛俊明 倪牮 赵鹏 张德坤 孙建 赵颖 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划)，天津市科技发展规划资助项目，天津市国家科技计划配套资助项目 |
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| 摘 要： | 采用反应热蒸发的方法,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备In2O3:Sn(ITO)薄膜.鉴于塑料对温度的敏感性,详细研究了衬底温度对其上沉积的ITO薄膜的微观结构及光电性能的影响,在低温条件下(Ts=140℃)获得电阻率为7.52×10-4Ωcm,可见光范围内的透过率大于80%和结构特性良好的薄膜,并将其应用于PIN型太阳电池的前电极,获得了转换效率为4.41%的柔性非晶硅(a-Si)薄膜太阳电池.
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| 关 键 词： | 柔性衬底 PET/ITO薄膜 低温沉积 太阳电池 |
Properties of ITO films deposited on PET substrate at low temperature |
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| CAO Li-ran,CHEN Xin-liang,XUE Jun-ming,NI Jian,ZHAO Peng,ZHANG De-kun,SUN Jian,ZHAO Ying,GENG Xin-hua.Properties of ITO films deposited on PET substrate at low temperature[J].Journal of Optoelectronics·laser,2009,20(5). |
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| Authors: | CAO Li-ran CHEN Xin-liang XUE Jun-ming NI Jian ZHAO Peng ZHANG De-kun SUN Jian ZHAO Ying GENG Xin-hua |
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| Affiliation: | Institute of Photo-electronic Thin Film Devices and Technology;Tianjin Key Laboratory of Photo-electronic Thin Film Devices and Technology;Key Laboratory of Opto-electronic Information Science and Technology for Ministry of Education;Nankai University;Tianjin 300071;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | flexible substrate PET/ITO films low temperature solar cells |
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