| 一种新型微结构高灵敏度光纤温度传感器 |
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| 引用本文： | 李涛,戴玉堂,赵前程.一种新型微结构高灵敏度光纤温度传感器[J].光电子．激光,2014(4):625-630. |
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| 作者姓名： | 李涛 戴玉堂 赵前程 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉 430070;武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉 430070;武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉 430070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51175393)和湖北省自然科学基金重点(2011CDA055)资助项目 (武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉 430070) |
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| 摘 要： | 为实现高精度温度检测,提出一种基于飞秒激光微加工的新型光纤温度传感器的制备方法。利用波长为780nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤(SMF)包层上加工槽状微结构,通过磁控溅射的方法在其表面沉积温敏薄膜,从而制备一种光纤温度传感探头。理论分析了环状微结构镀膜实现温度增敏的工作机制,通过温度实验讨论了不同微结构镀膜对温度增敏效果的影响。实验结果表明,在FBG包层上单纯加工槽状微结构(无镀膜),对温度的灵敏度影响不大,基本上不改变光栅中心波长随温度变化的趋势;加工槽状微结构后再沉积敏感薄膜,可明显提升传感器的温度灵敏度,其中环状膜层较镀膜螺纹膜层微结构的增敏效果更加明显,其灵敏度可达21.37pm/℃。
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| 关 键 词： | 温度传感器 飞秒激光 光纤布拉格光栅(FBG) 微结构 敏感薄膜 |
| 收稿时间： | 2013/9/18 0:00:00 |
A new type of high sensitivity optical fiber temperature sensor with microstruc ture |
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| Affiliation: | National Engineering Laboratory for Fiber Optic Sensing Technol ogy,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,China;National Engineering Laboratory for Fiber Optic Sensing Technol ogy,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,China;National Engineering Laboratory for Fiber Optic Sensing Technol ogy,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | temperature sensor femtosecond laser fiber Bragg grating (FBG) microstructure sensitive film |
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