| 基于硅基双微环谐振腔的高灵敏度电流传感器 |
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| 引用本文： | 魏兵,戴庭舸,王根成,赵昌云,周柯江,杨建义,李宇波.基于硅基双微环谐振腔的高灵敏度电流传感器[J].光电子．激光,2017,28(2):128-132. |
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| 作者姓名： | 魏兵 戴庭舸 王根成 赵昌云 周柯江 杨建义 李宇波 |
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| 作者单位： | 浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027;浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027 |
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| 基金项目： | 国家“863计划”(2015AA017001)和浙江省自然科学基金(LY14F050005)资助项目 (浙江大学 信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027) |
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| 摘 要： | 提出并制作了基于硅(Si)基双微环谐振腔的高灵敏 度电流传感器。所设计的Si基双微 环谐振腔的输出功率对波导内传输TE模的有效折射率变化非常敏感,探测由有效折射率变 化造成的输出功率改变可实现高灵敏度微弱电流传感。在设计的Si基微环上集成了具有较高 加热效率的TiN 电阻,当有电流通过该电阻时,电阻发热并改变波导内传输TE 模的有效 折射率,最终造成微环输出功率改变。通过光功率计检测不同输入电流下微环输出功率,即 可 实现对电流的测量。实验结果表明,制作的微环传感器在测试范围为0～6mA时,灵敏度 高达1575dBm/A,线性相关系数 R2大于0.999
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| 关 键 词： | 微环谐振腔 电流传感器 热光效应 灵敏度 |
| 收稿时间： | 2016/4/6 0:00:00 |
High-sensitivity photonic current sensor based on Si dual-ring resonator |
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| WEI Bing,DAI Ting-ge,WANG Gen-cheng,ZHAO Chang-yun,ZHOU Ke-jiang,YANG Jian-yi and LI Yu-bo.High-sensitivity photonic current sensor based on Si dual-ring resonator[J].Journal of Optoelectronics·laser,2017,28(2):128-132. |
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| Authors: | WEI Bing DAI Ting-ge WANG Gen-cheng ZHAO Chang-yun ZHOU Ke-jiang YANG Jian-yi and LI Yu-bo |
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| Affiliation: | College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China;College of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang Univers ity,Hangzhou 310027,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ring resonator current sensor thermo-optic effect sensitivity |
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