沃拉斯顿棱镜可见光区减反射膜研制 |
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引用本文: | 郝殿中,吴福全,王召兵,宋连科,刘涛,李国华.沃拉斯顿棱镜可见光区减反射膜研制[J].光电子.激光,2008,19(8). |
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作者姓名: | 郝殿中 吴福全 王召兵 宋连科 刘涛 李国华 |
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摘 要: | 为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系;选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:e光,o光的平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽覆盖可见光区;为了改善薄膜和基底间的附着力,采用Al2O3做过渡层.
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关 键 词: | 薄膜光学 薄膜 沃拉斯顿棱镜 减反射膜 附着力 带宽 |
Development of antireflection thin films based on wollaston prism in hole visible spectrum |
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