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微角度的光学测量
引用本文:张彩妮,王向朝.微角度的光学测量[J].光电子.激光,2002,13(4):416-419.
作者姓名:张彩妮  王向朝
作者单位:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
基金项目:国家自然科学基金资助项目 (699780 2 4),国家重点基础研究发展规划资助项目 (G19990 3 3 10 8)
摘    要:综述了微角度的光学测量方法。就干涉法,自准直法和全内反射差动探测法等测量方法的原理及特点进行了讨论。给出了各方法的典型实验装置,讨论了各装置的特点及应用局限性,并对这些方法的进展进行了探讨。

关 键 词:微角度  光学测量  位置探测光电二极管  莫尔条纹
文章编号:1005-0086(2002)04-0416-04
修稿时间:2001年6月15日

Optical methods for measuring small angles
ZHANG Cai ni,WANG Xiang zhao.Optical methods for measuring small angles[J].Journal of Optoelectronics·laser,2002,13(4):416-419.
Authors:ZHANG Cai ni  WANG Xiang zhao
Abstract:The principles of the optical methods for measuring small angles are discussed.These methods include interferometry,autocollimators,and differential detection based on the internal reflection effect.We discuss the typical measurement devices,their applications,limitations and the new development of these methods.
Keywords:Small angles  Interferometry  Rotation angles  Total internal reflection  Position  sensing photodiode  Moire fringe
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