| 微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计 |
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| 引用本文： | 张红霞,张以谟,井文才,周革,李朝辉.微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计[J].光电子．激光,2003,14(12):1292-1295. |
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| 作者姓名： | 张红霞 张以谟 井文才 周革 李朝辉 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 天津市"131"人才工程第一层次人选资助项目，天津市自然科学基金资助项目(023602411) |
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| 摘 要： | 提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求。物镜为长工作距物镜,由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成。设计了5种不同透射/反射率的分束板,平衡了干涉光强。Mirau干涉物镜的NA=0.3,β=-10,工作距5mm,横向分辨率Δx≥0.887μm,景深Δ=±2.956μm。
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| 关 键 词： | Mirau干涉物镜 长工作距物镜 像差校正 光强平衡 微表面形貌检测 |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)12-1292-04 |
| 修稿时间： | 2003年4月23日 |
Optimized Design of Mirau Interference Objective in Microsurface Topography Measurement |
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| ZHANG Hong-xia.Optimized Design of Mirau Interference Objective in Microsurface Topography Measurement[J].Journal of Optoelectronics·laser,2003,14(12):1292-1295. |
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| Authors: | ZHANG Hong-xia |
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| Affiliation: | ZHANG Hong-xia~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Mirau interference objective long working-distance objective aberration correcting intensity balancing |
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