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| 亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性 | |
| 引用本文： | 曹召良 卢振武 李凤有 任智斌 刘玉玲. 亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性[J]. 光电子．激光, 2003, 14(7): 694-697 |
| 作者姓名： | 曹召良 卢振武 李凤有 任智斌 刘玉玲 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130022 |
| 基金项目： | 中国科学院创新基金资助项目(2002LQ.04) |
| 摘 要： | 用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小二乘法拟合出临界周期点随折射率的变化规律;利用一维单台阶和多台阶光栅在TE、TM偏振状态以及二维单台阶圆柱状光栅和二维金字塔结构多台阶光栅进行验证,发现它们同样满足临界周期点的变化规律。结果证明,对于任意面形的亚波长周期结构介质光栅的一级衍射效率都有这一规律。 |
| 关 键 词： | 耦合波理论(RCWA) 临界周期点 拟合 亚波长 折射率 光栅 |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)07-0694-04 |
| 修稿时间： | 2002-11-15 |
Diffractive Characteristics of Antireflective Dielectric Gratings with Subwavelength Periodic Structure |
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| Abstract: | |
| Keywords: | rigorous coupled wave analysis(RCWA) critical periodic point fit subwavelength refractive index grating |
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