| 彩色膜上ITO的室温沉积及其在FPD中的应用 |
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| 引用本文： | 孟志国,彭华君,吴春亚,李娟,熊绍珍,丘成峰,李娟娟,王文,郭海成.彩色膜上ITO的室温沉积及其在FPD中的应用[J].光电子．激光,2005,16(2):140-145. |
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| 作者姓名： | 孟志国 彭华君 吴春亚 李娟 熊绍珍 丘成峰 李娟娟 王文 郭海成 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子所,天津,300071;香港科技大学电机电子工程系,香港九龙 |
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| 基金项目： | 国家"863"计划资助项目(2002AA303261),国家自然科学基金资助项目(60077011,69907002),天津市自然科学基金资助项目(023602011) |
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| 摘 要： | 使用直流磁控溅射技术,在彩色膜衬底上室温制备出粘附性良好的氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。X光衍射(XRD)和原子力显微(AFM)分析表明,室温ITO为多晶态,薄膜具有很好的透过率和良好的导电特性,方块电阻为120Ω／□,对应ITO／彩色膜复合膜在450nm的蓝(B)光、530nm的绿(G)光、630nm的红(R)光处的峰值透过率均达到85％左右。彩色膜与ITO电极的形成及联接等加工工艺有良好的相容性。对该技术在彩色液晶显示(LCD)和彩色有机发光显示(OLED)中的应用,进行了探索。
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| 关 键 词： | 彩色过滤膜 氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜 室温直流磁控溅射 脱膜图形微细加工 有机发光显示(OLCD) 液晶显示(LCD) |
| 文章编号： | 1005-0086(2005)02-0140-06 |
Room Temperature Deposition of Thin-film Indium-tin Oxide on Micro-fabricated Color Filters and Its Application to Flat-panel Displays |
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| MENG Zhi-guo,PENG Hua-jun,WU Chun-ya.Room Temperature Deposition of Thin-film Indium-tin Oxide on Micro-fabricated Color Filters and Its Application to Flat-panel Displays[J].Journal of Optoelectronics·laser,2005,16(2):140-145. |
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| Authors: | MENG Zhi-guo PENG Hua-jun WU Chun-ya |
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| Affiliation: | MENG Zhi-guo~1,PENG Hua-jun~2,WU Chun-ya~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | color filter(CF) indium-tin oxide(ITO) transparent conductive thin film room temperature DC magnetron sputtering lift-off micro-pattern method organic light emitting display(OLED) liquid crystal display(LCD) |
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