首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析
作者姓名:鲍俊峰  曹钟慧  袁野  邹勇卓  吴兴坤
作者单位:浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
摘    要:研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗<0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术。应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较。

关 键 词:微光电子机械系统(MOEMS)  光开关  电火花加工(EDM)  光纤通信
文章编号:1005-0086(2004)01-0041-04
修稿时间:2003-05-14
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
点击此处可从《光电子.激光》浏览原始摘要信息
点击此处可从《光电子.激光》下载全文
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号