| 低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析 |
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| 引用本文： | 鲍俊峰,曹钟慧,袁野,邹勇卓,吴兴坤.低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析[J].光电子．激光,2004,15(1):41-44. |
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| 作者姓名： | 鲍俊峰 曹钟慧 袁野 邹勇卓 吴兴坤 |
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| 作者单位： | 浙江大学光及电磁波研究中心,光电信息工程学系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗<0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术。应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较。
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| 关 键 词： | 微光电子机械系统 MOEMS 光开关 电火花加工 EDM 光纤通信 开关时间 工作原理 性能测试 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)01-0041-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月14日 |
Dynamic Analysis of Low Voltage Micro-machining Based 1×8 Optical Switch |
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| BAO Jun-feng,CAO Zhong-hui,YUAN Ye,ZOU Yong-zhuo,WU Xing-kunof Optical and Electromagnetic Research.Dynamic Analysis of Low Voltage Micro-machining Based 1×8 Optical Switch[J].Journal of Optoelectronics·laser,2004,15(1):41-44. |
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| Authors: | BAO Jun-feng CAO Zhong-hui YUAN Ye ZOU Yong-zhuo WU Xing-kunof Optical and Electromagnetic Research |
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| Affiliation: | BAO Jun-feng~*,CAO Zhong-hui,YUAN Ye,ZOU Yong-zhuo,WU Xing-kunof Optical and Electromagnetic Research,Department of Optical Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-optical-electro-mechanical system(MOEMS) optical switch electrical discharge machining(EDM) fiber optic communication |
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