|
|||||
|
|
| 外延层电阻率四探针与C－V测试的差异及校正 | |
| 引用本文： | 梁卿才,陈建国.外延层电阻率四探针与C－V测试的差异及校正[J].集成电路通讯,2001(3):37-39. |
| 作者姓名： | 梁卿才 陈建国 |
| 摘 要： | 采用四探针与C－V两种测试仪器，对同一参数的外延片电阻率进行测试，测试结果表明，用四探测针试外延陪片和C－V测试处延片，测得的外延电阻率存在差异。分析造成差异的原因，得出了符合要求的校正系数。 |
| 关 键 词： | 外延层 电阻率 C-V测试 四探针 测试仪器 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |