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半导体器件老炼筛选试验设计
引用本文:罗俊,陈世钗,胡盛东,刘凡,赵胜雷,陈浩然,晏开华,王媛.半导体器件老炼筛选试验设计[J].微电子学,2014(3):392-394,408.
作者姓名:罗俊  陈世钗  胡盛东  刘凡  赵胜雷  陈浩然  晏开华  王媛
作者单位:中国电子科技集团公司第二十四研究所;西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室;中国电子科技集团公司第二十六研究所;重庆大学通信工程学院;
基金项目:模拟集成电路重点实验室基金资助项目(9140C090406120C09037)
摘    要:老炼筛选试验是有效剔除内含固有工艺缺陷的半导体器件,以及保证半导体器件使用可靠性的重要途径。本文阐述了半导体器件早期失效的基本概念,并给出了半导体器件早期失效率的预计方法。在此基础上提出了半导体器件老炼筛选试验设计方法,以期最大限度地保证半导体器件出厂后的使用可靠性。

关 键 词:半导体器件  早期失效  老炼筛选  加速应力试验

Design of Burn-in Screening Test for Semiconductors Devices
LUO Jun,CHEN Shichai,HU Shengdong,LIU Fan,ZHAO Shenglei,CHEN Haoran,YAN Kaihua and WANG Yuan.Design of Burn-in Screening Test for Semiconductors Devices[J].Microelectronics,2014(3):392-394,408.
Authors:LUO Jun  CHEN Shichai  HU Shengdong  LIU Fan  ZHAO Shenglei  CHEN Haoran  YAN Kaihua and WANG Yuan
Abstract:Burn-in screening test can eliminate semiconductor devices containing defects rooted in the manufacturing process and is one of the most important approaches for field reliability assurance. The basic conception of initial failure is introduced and the methods for estimating the initial failure rate are presented. Finally, the design method of burn-in screening test for semiconductor devices is proposed in order to improve the initial failure rate of semiconductor devices in the market.
Keywords:Semiconductor device  Initial failure  Burn-in screening  Accelerated stress test
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