| 基于MEMS技术的微热电器件的研究进展 |
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| 引用本文： | 陈旻,廖波,孔德文.基于MEMS技术的微热电器件的研究进展[J].微电子学,2004,34(1):7-12,17. |
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| 作者姓名： | 陈旻 廖波 孔德文 |
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| 作者单位： | 北京理工大学,电子工程系,北京,100081 |
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| 摘 要： | 对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述，对各种结构形式和研究现状进行了综合比较。从微热电器件的优化设计方法、微机械加工工艺等方面，分析了提高微热电器件性能的途径。
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| 关 键 词： | MEMS技术 微热电器件 致冷器件 发电器件 微机械加工工艺 优化设计 结构形式 |
| 文章编号： | 1004-3365(2004)01-0007-06 |
The Latest Development of Thermoelectric Microdevices Based on MEMS Technology |
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| CHEN Min,LIAO Bo,KONG De-wen.The Latest Development of Thermoelectric Microdevices Based on MEMS Technology[J].Microelectronics,2004,34(1):7-12,17. |
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| Authors: | CHEN Min LIAO Bo KONG De-wen |
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| Abstract: | The latest development of thermoelectric microdevices,such as microcooler and microgenerator,is presented in the paper.Also, a detailed comparison of various structures developed by different research institutes is dealt with.Approaches to improving the performance of thermoelectric microdevices are analyzed,with regard to design optimization techniques and MEMS technology for the device. |
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| Keywords: | MEMS Thermoelectric Microcooler Microgenerator |
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