| 微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究 |
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| 引用本文： | 茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声.微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究[J].微电子学,2003,33(4):273-275. |
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| 作者姓名： | 茅惠兵 忻佩胜 胡梅丽 赖宗声 |
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| 作者单位： | 华东师范大学,电子科学技术系,上海,200062 |
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| 基金项目： | 国家"973"项目(G1999033105),上海市AM基金(9810)共同资助 |
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| 摘 要： | 文章主要讨论了微机电微波／射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波／射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0．5～5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30～50dB。
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| 关 键 词： | 射频开关 微机电微波 力学分析 共平面波导 悬管梁 插入损耗 隔离度 制备工艺 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)04-0273-03 |
| 修稿时间： | 2002年9月11日 |
A Study on the Mechanics of the Microelectromechanical MW/RF Switch and Its Characterization |
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| Keywords: | MEMS MW/RF switch Cantilever Coplanar waveguide Insert loss Isolation |
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