| MEMS陀螺仪驱动接口ASIC设计 |
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| 引用本文： | 王亚林,杨拥军,任臣.MEMS陀螺仪驱动接口ASIC设计[J].微电子学,2019,49(4):529-533. |
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| 作者姓名： | 王亚林 杨拥军 任臣 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄 050051,中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄 050051,中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄 050051 |
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| 摘 要： | 基于0.18 μm CMOS工艺,设计了一种用于MEMS陀螺仪驱动闭环的专用集成电路,实现了MEMS陀螺仪的高精度、集成式和数字化驱动。陀螺仪采用静电力驱动,基于自激振荡原理,结合自动增益控制方法,实现了恒幅恒频振动。设计了电容/电压转换器、3阶带通Σ-Δ ADC等模拟前端电路。芯片测试结果表明,陀螺仪成功起振,谐振频率为3.7 kHz,启动时间≤0.3 s,驱动检测信号的信噪比达到115 dB,驱动振幅1 h稳定性为1.5×10-4,整个芯片的功耗小于20 mW,电路性能良好。
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| 关 键 词： | 自激振荡 自动增益控制 电容/电压转换 模数转换器 |
| 收稿时间： | 2018/10/30 0:00:00 |
Design of an Interface ASIC for MEMS Gyroscope Driving Closed-Loop |
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| WANG Yalin,YANG Yongjun and REN Chen.Design of an Interface ASIC for MEMS Gyroscope Driving Closed-Loop[J].Microelectronics,2019,49(4):529-533. |
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| Authors: | WANG Yalin YANG Yongjun and REN Chen |
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| Affiliation: | The 13th Research Institute, CETC, Shijiazhuang 050051, P. R. China,The 13th Research Institute, CETC, Shijiazhuang 050051, P. R. China and The 13th Research Institute, CETC, Shijiazhuang 050051, P. R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | self-excited oscillation automatic gain control capacitance/voltage conversion ADC |
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