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| PtSi／p—Si异质薄膜研究的新进展 | |
| 引用本文： | 李雪,殷景华.PtSi／p—Si异质薄膜研究的新进展[J].半导体情报,2001,38(5):22-27. |
| 作者姓名： | 李雪 殷景华 |
| 摘 要： | 综述了PtSi/p-Si异质薄膜近年来研究的新进展，包括PtSi/p-Si的制备工艺、相形成与分布、PtSi/p-Si界面的微结构、价电子结构以及PtSi/p-Si肖特基势垒的研究现状，并且探讨了PtSi/p-Si的发展方向。 |
| 关 键 词： | 异质薄膜 微结构 硅 PtSi／p－Si 半导体材料 |
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