| 大功率准分子激光器控制系统研制 |
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| 引用本文： | 樊友平,黄席樾,余吟山.大功率准分子激光器控制系统研制[J].量子电子学报,2002,19(1):21-24. |
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| 作者姓名： | 樊友平 黄席樾 余吟山 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学自动化学院重庆,400044
2. 中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥,230031 |
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| 摘 要： | 本文设计了一个智能化的激光器控制系统，它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量．该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点，经过实际使用验证，工作稳定可靠，具有较好的实用价值．
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| 关 键 词： | 准分子激光器 参数测量 主从微机控制系统 |
| 文章编号： | 1007-5461(2002)01-0021-04 |
| 收稿时间： | 2000/10/24 |
| 修稿时间： | 2000年10月24 |
Development of a Microcomputer Controlling System for High Power Excimer Laser |
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| Fan Youping , Huang Xiyue , Yu Yinshan.Development of a Microcomputer Controlling System for High Power Excimer Laser[J].Chinese Journal of Quantum Electronics,2002,19(1):21-24. |
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| Authors: | Fan Youping Huang Xiyue Yu Yinshan |
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| Affiliation: | Fan Youping 1, Huang Xiyue 1, Yu Yinshan 2 |
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| Abstract: | This paper describes the design of a microcomputer controlling system for high power excimer Iaser, which is suitable for the measurement of characteristics of excimer laser when it works normally This device has the features of easy to operate, low cost and small error. Measurements show that the device is stable and practicable. |
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| Keywords: | excimer laser measurement of characteristics master-slave microcomputer controlling system |
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