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电容式加速度传感器机电耦合分析
引用本文:牟维兵.电容式加速度传感器机电耦合分析[J].电子设计工程,2019,27(5).
作者姓名:牟维兵
作者单位:中国工程物理研究院计算机应用研究所仿真中心,四川绵阳,6219001
摘    要:

关 键 词:电容式传感器  加速度荷载  固体力学  机电耦合模拟  电流
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