用于太赫兹频段的矩形波导腔加工工艺北大核心

介绍了一种用于太赫兹频段的矩形波导腔的设计和加工工艺。利用Comsol Multiphysics软件对射频器件中心频率为0.4 THz时,横电波(TE10波)在矩形波导腔中的传播进行了仿真。仿真结果表明,波导口尺寸设计为0.56 mm×0.3 mm时,电磁波在该波导中的传输损耗较小,插入损耗S21接近-1 dB,回波损耗S11小于-30 dB。该结构利用牺牲层技术制备。采用SU-8环氧基负性光刻胶作为介质层,低转速多次旋涂AZ50XT形成牺牲层结构,制备出矩形波导腔结构。该波导腔结构内壁表面平整,侧壁垂直度为87.7°,上层结构和侧壁之间结合紧密,为实现波导腔结构的加工提供了一种新的途径。