砷在硅中的浓度同扩散的关系

在实验中应用了波尔兹曼-马塔诺分析法,测定了砷扩散到硅中引起的杂质原子的分布。由此分析推断出在高的砷浓度下砷浓度同扩散系数的关系。此外,采用理论同实验相比较的方法,对砷在硅中的本征扩散率作了估价。