|
|||||
|
|
| 叉指式微硅加速度计的参数化设计 | |
| 引用本文： | 刘宗林,吴学忠,李圣怡.叉指式微硅加速度计的参数化设计[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 刘宗林 吴学忠 李圣怡 |
| 摘 要： | 详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真. |
| 关 键 词： | 微机电系统 叉指驱动 加速度计 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |