| 基于键合技术的新型集成光学干涉仪 |
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| 引用本文： | 李以贵,惠春,宓晓宇,羽根一博.基于键合技术的新型集成光学干涉仪[J].微纳电子技术,2003(Z1). |
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| 作者姓名： | 李以贵 惠春 宓晓宇 羽根一博 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米技术研究院，上海交通大学微纳米技术研究院，日本东北大学机械电子系，日本东北大学机械电子系 上海200030，上海200030，日本，9808579，日本，9808579 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于超薄薄膜光电二极管 (PD)构成的新型集成光学干涉仪构造方案 ,基于键合技术 ,论证了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成光学干涉仪的可能性。着重描述了集成光学干涉仪构造关键部件———超薄薄膜光电二极管的设计、制造及其特性。所构成的集成光学干涉仪经实验得到初步验证 ,结果表明 ,利用微细加工制作微光学干涉计是完全可行的
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| 关 键 词： | 集成光学干涉仪 超薄膜光电二极管 键合技术 |
Integrated optical interferometer based on bonding technology |
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| LI Yi gui ,HUI Chun ,MI Xiao yu ,HANE Kazuhiro.Integrated optical interferometer based on bonding technology[J].Micronanoelectronic Technology,2003(Z1). |
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| Authors: | LI Yi gui HUI Chun MI Xiao yu HANE Kazuhiro |
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| Affiliation: | LI Yi gui 1,HUI Chun 1,MI Xiao yu 2,HANE Kazuhiro 2 |
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| Abstract: | We proposed and designed integrated optical interferometer and application in displacement measurement based on the newly developed ultra thin film photodiode. The principle, design, fabrication process, and performance of ultra thin film photodiode are described. The primary results show that it is possible to realize integrated optical interferometer using bonding technology. |
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| Keywords: | integrated interferometer ultra thin film photodiode bonding technology |
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