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| 电化学制备亚微米氧化铝有序多孔膜方法研究 | |
| 引用本文： | 韩喻,谢凯.电化学制备亚微米氧化铝有序多孔膜方法研究[J].微纳电子技术,2003,40(7):137-141. |
| 作者姓名： | 韩喻 谢凯 |
| 作者单位： | 国防科技大学光子声子晶体研究中心,湖南,长沙,410073 |
| 摘 要： | 采用电化学阳极氧化法制备亚微米氧化铝有序多孔膜，研究了铝电极预处理过程、扩孔时间、阳极氧化时间和阳极氧化电压对亚微米氧化铝有序多孔膜孔径、孔密度以及孔排列有序性的影响规律，并且建立了一个理想模型来探讨亚微米氧化铝多孔膜的生长过程。 |
| 关 键 词： | 电化学制备 亚微米氧化铝 有序多孔膜 阳极氧化 光子带隙材料 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0137-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Electrochemically prepared submicron ordered porous alumina film |
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| Abstract: | |
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