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| MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备 | |
| 引用本文： | 张博军,赵湛,陈绍凤.MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 张博军 赵湛 陈绍凤 |
| 摘 要： | 永磁材料在微电子机械系统(MEMS)器件中具有重要的应用价值,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等.本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术,给出了工艺制备的实验条件,并利用SEM分析了阵列的表面形貌,电子能谱分析了永磁材料组分.实验结果表明,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例:Co 85%、Ni 14%. |
| 关 键 词： | MEMS执行器 电铸 永磁体阵列 |
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