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| 单层多晶的EEPROM | |
| 引用本文： | 任涛,刘志弘,朱钧.单层多晶的EEPROM[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 任涛 刘志弘 朱钧 |
| 摘 要： | 针对传统双层多晶EEPROM的诸多不足之处,介绍了相对较有潜力的单层多晶的EEPROM,主要对比了传统的双层多晶的EEPROM和单层多晶的EEPROM(single poly EEPROM),展示了single poly EEPROM的应用前景,同时提出了single poly EEPROM所面临的问题,并有针对性地给出了几种解决方案. |
| 关 键 词： | 单层多晶EEPROM 标准CMOS工艺 三阱工艺 |
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