| 用于X波段移相器的RF MEMS开关设计 |
| |
| 引用本文： | 柏鹭,高杨,贾小慧,王强.用于X波段移相器的RF MEMS开关设计[J].微纳电子技术,2010,47(12). |
| |
| 作者姓名： | 柏鹭 高杨 贾小慧 王强 |
| |
| 作者单位： | 西南科技大学信息工程学院;中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室;西南科技大学制造科学与工程学院; |
| |
| 基金项目： | 中国工程物理研究院科技发展基金重点课题，四川省教育厅重大培育项目，西南科技大学研究生教改项目，教育部访问学者基金(无编号) |
| |
| 摘 要： | 针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关。该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27V。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响,包括传输线断开间距d,接触金属与传输线之间的垂直间距h,接触金属的宽度B,总结了各参数对开关电磁性能的影响趋势,确定了本设计中各结构参数的最优取值;利用MEMS CAD软件CoventorWare对初始设计的开关进行机电耦合仿真,确定了开关的详细结构参数。仿真结果表明,设计的串联接触式悬臂梁开关驱动电压约为18V;中心频率为10GHz时,开关闭合态回波损耗为0.02dB,隔离度为36dB,导通态下,插入损耗为0.028dB。
|
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁 X波段 移相器 开关 |
Design of the RF MEMS Switch for X-Band Shifters |
| |
| Bai Lu,Gao Yang,Jia Xiaohui,Wang Qiang.Design of the RF MEMS Switch for X-Band Shifters[J].Micronanoelectronic Technology,2010,47(12). |
| |
| Authors: | Bai Lu Gao Yang Jia Xiaohui Wang Qiang |
| |
| Affiliation: | Bai Lu1a,2,Gao Yang2,3,Jia Xiaohui1a,Wang Qiang1b(1.a.School of Information Engineering,b.School of Manufacturing Science and Engineering,Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010,China,2.Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,3.Key Laboratory of Optoelectronic Technology and System,Chongqing University,Chongqing 400044,China) |
| |
| Abstract: | A series contact cantilever RF MEMS switch was designed for a on-chip integrated switch-line MEMS phase shifter.The switch-line MEMS phase shifter is used in X-band,the threshold voltage is lower than 27 V,and the area of the switch-line MEMS phase shifter is very small.Therefore,the designed contact cantilever RF MEMS series switch must have a compact structure.The key structural parameters affecting on the electromagnetic properties,including the distance(d)of the disconnected transmission line,the vertic... |
| |
| Keywords: | micro-electromechanical system(MEMS) cantilever beam X-band shifter switch |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
