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磁性液体的微致动性能
作者姓名:郭岩  刘同冈  吴健
作者单位:中国矿业大学机电工程学院;
基金项目:中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012QNA32);江苏省自然科学基金资助项目(BK20131114)
摘    要:针对磁性液体在MEMS微致动器中的应用,对磁性液体在磁场中致动力的影响因素进行了理论分析。根据理论分析结果设计了一套磁性液体微致动性能测试实验台,并从磁场强度、磁性液体受力面积和磁性液体质量三个方面对其微致动性能进行实验研究。实验结果表明:磁性液体致动力与磁场强度近似呈线性关系;等量磁性液体作用面积越大,致动力越大;磁性液体致动力随磁性液体质量的增加不断增加,当磁性液体质量达到一定值时,磁性液体致动力大小趋于稳定。

关 键 词:微机电系统(MEMS)  磁性液体  微致动器  实验台  微致动力
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