| CMOS技术在生物传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 杨振,颜永红,齐良颉.CMOS技术在生物传感器中的应用[J].微纳电子技术,2004,41(1):34-37. |
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| 作者姓名： | 杨振 颜永红 齐良颉 |
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| 作者单位： | 湖南大学应用物理系,湖南,长沙,410082 |
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| 摘 要： | 介绍了应用传统CMOS工艺实现ISFET的设计方法,比较了四种不同结构ISFET的传输特性,提出了应用同一CMOS工艺实现衔接电路的差分结构形式,并通过实验验证了此电路设计的合理性。传感单元ISFET与衔接电路可整体集成于同一芯片,提高了生物传感器的品质。
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| 关 键 词： | 离子敏场效应晶体管 敏感膜 差分结构 参考电极 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)01-0034-04 |
| 修稿时间： | 2003年7月25日 |
CMOS technology for biosensor application |
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| YANG Zhen,YAN Yong-hong,QI Liang-jie.CMOS technology for biosensor application[J].Micronanoelectronic Technology,2004,41(1):34-37. |
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| Authors: | YANG Zhen YAN Yong-hong QI Liang-jie |
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| Abstract: | The design and fabrication of ISFET-based structure realized in an unmodified commercial CMOS technology are given. The transfer characteristics of four different ISFET are compared. A differential interface circuit is reported and realized in the same CMOS technology. The interface circuit can be monolithically intergrated on a chip with two ISFET,which greatly improves the quality of biomedical sensors. |
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| Keywords: | ISFET sensitive membrane differential configuration reference electrode |
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