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| 一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析 | |
| 引用本文： | 陈德勇,陈健,毋正伟,王军波,陈李.一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 陈德勇 陈健 毋正伟 王军波 陈李 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| 摘 要： | 为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作.模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等. |
| 关 键 词： | 谐振加速度计 微杠杠结构 差分输出 |
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