| 薄膜体声波谐振器技术 |
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| 引用本文： | 唐孝明,唐高弟,张海.薄膜体声波谐振器技术[J].微纳电子技术,2005,42(8):380-383. |
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| 作者姓名： | 唐孝明 唐高弟 张海 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体声波谐振器设计,并模拟了其构成射频带通滤波器的频率特性。
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| 关 键 词： | 微加工 RF滤波器 薄膜体声波谐振器 微机械电子系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)08-0380-04 |
| 修稿时间： | 2005年2月21日 |
Technology of Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator |
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| TANG Xiao-ming,TANG Gao-di,ZHANG Hai.Technology of Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(8):380-383. |
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| Authors: | TANG Xiao-ming TANG Gao-di ZHANG Hai |
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| Abstract: | We focus on the thin film bulk acoustic wave resonators and filters fabricated by micro-machining. The operation principle?structure model and main parameter are introduced. A design of thin film bulk acoustic wave filter is proposed,and frequency characteristics of a bandpass filter made of it is simulated. |
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| Keywords: | micro-machining RF filter FBAR(film bulk acoustic resonator) MEMS |
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