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| 基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案 | |
| 引用本文： | 于尚民,冯仁剑,万江文.基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 于尚民 冯仁剑 万江文 |
| 作者单位： | 北京邮电大学,北京,100876 北京航空航天大学,北京,100083 北京航空航天大学,北京,100083 |
| 摘 要： | 采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验.结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性. |
| 关 键 词： | MEMS静电驱动 平行板 运动特性 状态空间 状态反馈 |
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