| 金属Micro/Meso结构器件制造技术 |
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| 引用本文： | 明平美,胡洋洋,曾永彬. 金属Micro/Meso结构器件制造技术[J]. 微纳电子技术, 2006, 43(6): 301-306 |
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| 作者姓名： | 明平美 胡洋洋 曾永彬 |
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| 作者单位： | 1. 河南理工大学机械与动力工程学院,河南,焦作,454000;南京航空航天大学机电工程学院,南京,210016
2. 南京航空航天大学机电工程学院,南京,210016 |
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| 摘 要： | 具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro/meso结构器件的加工,是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造金属micro/meso结构器件的几种常用加工技术(精密机械加工技术、LIGA和LIGA-like技术、微细电火花加工技术、微细电解加工技术和选择性电沉积技术等)及其工艺进展,并分析了它们的优缺点。
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| 关 键 词： | 金属微结构 金属微器件 亚微加工 微细加工 |
| 文章编号： | 1671-4776(2006)06-0301-06 |
| 收稿时间： | 2005-09-11 |
| 修稿时间： | 2005-09-11 |
Fabricating Metal Micro/Meso-Structures & -Devices |
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| MING Ping-mei,HU Yang-yang,ZENG Yong-bin. Fabricating Metal Micro/Meso-Structures & -Devices[J]. Micronanoelectronic Technology, 2006, 43(6): 301-306 |
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| Authors: | MING Ping-mei HU Yang-yang ZENG Yong-bin |
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| Abstract: | The fabrication of metal micro/meso-structures &-devices with some special function or meeting some special needs is an important task in non-Si-MEMS fabricating and micromachi-ning.Several useful microfabrication techniques were reviewed including ultraprecision machining,LIGA and LIGA-like,micro electrodischarge machining,micro electrochemical machining and selective electrodeposition for producing metal micro/meso-structures &-devices,and their advantages and disadvantages were analyzed. |
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| Keywords: | metal microstructures metal microdevices meso-machining microfabrication |
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