| 环境振动测量电容式加速度传感器设计 |
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| 引用本文： | 周再发,黄庆安,秦明.环境振动测量电容式加速度传感器设计[J].微纳电子技术,2003,40(7):298-301. |
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| 作者姓名： | 周再发 黄庆安 秦明 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
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| 摘 要： | 设计了一种用于环境振动测量的高分辨率电容式加速度传感器，通过适当减小质量块的质量，不改变敏感电容的大小，降低了实现加速度传感器闭环控制对多晶硅固定电极刚度的要求，采用简单的加工工艺，多晶硅固定电极刚度就能满足加速度传感器闭环控制的需要。通过在传感器的三层电极上都刻蚀阻尼孔，减小阻尼，提高传感器的品质因子，传感器能提供μ9级的分辨率。
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| 关 键 词： | 环境振动测量 电容式加速度传感器 设计 微加工技术 微机电系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0298-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Design of capacitive accelerometer for environment vibration measurement |
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