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| 探空集成传感器设计 | |
| 引用本文： | 武宇,方震,赵湛,陈超,张博军.探空集成传感器设计[J].微纳电子技术,2003,40(7):583-585,589. |
| 作者姓名： | 武宇 方震 赵湛 陈超 张博军 |
| 作者单位： | 传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所,北京,100080 |
| 基金项目： | 中国科学院微系统创新项目资助 |
| 摘 要： | 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量，降低成本，提高系统的可靠性，具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性，分别采用空气导热检测法、铂电阻法和电容法对湿度、温度、压力进行检测，并且进行了理论计算，设计了加工工艺步骤，制作出雏形器件。 |
| 关 键 词： | 航空航天器 集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压 温度 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0583-03 |
Design of integrated sensor for atmosphere research |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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