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薄膜体声波传感器及其读出电路进展
引用本文:高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵.薄膜体声波传感器及其读出电路进展[J].压电与声光,2015,37(2):187-192.
作者姓名:高杨  何婉婧  李君儒  黄振华  蔡洵
作者单位:(1.中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川绵阳 621999;;2.西南科技大学 信息工程学院,四川绵阳621010;;3.重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400044)
基金项目:中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(ZZ14001,2012CJMZZ00009);重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学研究生创新基金资助项目(14YCX107,14YCX109,14YCX111)
摘    要:薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器,与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比,已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展,特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想。

关 键 词:薄膜体声波谐振器  传感器  换能器  微机电系统(MEMS)  读出电路  六端口反射计

FBAR Sensors and Their Read out Circuits a Review of Status
GAO Yang,HE Wanjing,LI Junru,HUANG Zhenhua and CAI Xun.FBAR Sensors and Their Read out Circuits a Review of Status[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(2):187-192.
Authors:GAO Yang  HE Wanjing  LI Junru  HUANG Zhenhua and CAI Xun
Affiliation:(1.Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621999,China;;2.School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010,China;;3.National Key Lab. of Fundamental Science of Micro/Nano Device and System Technology,Chongqing University,Chongqing 400044,China)
Abstract:
Keywords:
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