| 掺钐钛酸铅铁电薄膜的制备和主要性质 |
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| 引用本文： | 杨长红,王卓,韩辉,翟剑庞,王民,韩建儒.掺钐钛酸铅铁电薄膜的制备和主要性质[J].压电与声光,2005,27(1):59-61,64. |
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| 作者姓名： | 杨长红 王卓 韩辉 翟剑庞 王民 韩建儒 |
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| 作者单位： | 山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100 |
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| 摘 要： | 采用金属有机分解法(MOD)在P型Si(111)衬底上制备了Pb0.85Sm0.1TiO3(PST)薄膜。用X-射线衍射技术研究了退火温度对薄膜的结构和结晶性的影响。同时还研究了薄膜的介电、铁电和绝缘性能。结果发现在600°C下退火1h的PST薄膜呈钙钛矿结构;在0～16V范围内,薄膜的漏电流小于1.17×10-7A;在±10V的偏压范围内,电容-电压(C-V)记忆窗口宽度为4.5V;在室温10kHz下,其介电常数为37.25,介电损耗为0.042。
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| 关 键 词： | 金属有机分解法 Pb0.85Sm0.1TiO3 铁电薄膜 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)01-0059-03 |
Pb0. 85Sm0. 1TiO3 Thin Films Prepared by A Metalorganic Decomposition Method |
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| YANG Chang-hong,WANG Zhuo,HAN Hui,ZHAI Jian-pang,WANG Min,HAN Jian-ru.Pb0. 85Sm0. 1TiO3 Thin Films Prepared by A Metalorganic Decomposition Method[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(1):59-61,64. |
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| Authors: | YANG Chang-hong WANG Zhuo HAN Hui ZHAI Jian-pang WANG Min HAN Jian-ru |
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| Keywords: | metalorganic decomposition PST ferroelectric thin films |
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