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BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法
引用本文:赵坤丽,高杨,蔡洵.BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法[J].压电与声光,2016,38(6):843-846.
作者姓名:赵坤丽  高杨  蔡洵
作者单位:1.西南科技大学 信息工程学院,四川 绵阳 621010;2.中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621999;3.重庆大学 新型微纳 器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400044; 4.中国科学院高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室,北京 100049
基金项目:国家自然科学基金资助项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(2016KF-02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14ZXTK01)
摘    要:为了使用最小的电感改善体声波(BAW)梯型滤波器的带外抑制,提出了一种BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法,该方法对电感值进行了两次连续优化。首先分析了电感改善BAW梯型滤波器带外抑制的原理、结合单个薄膜体声波谐振器(FBAR)的静态电容公式并推导并联FBAR支路串联一个电感的输入阻抗表达式,得到在FBAR谐振区面积较大的并联支路,比在其他支路串联电感,对滤波器带外抑制的改善程度较大、电感值较小,该步确定了电感的最佳位置,随之确定的电感值较小;在此基础上,通过使上述卓越的带外抑制性能退化到带外抑制指标附近,电感值进一步减小。通过以上两次连续优化,能迅速确定一个最小的电感值及所在位置。结合一个31/2阶BAW梯型滤波器,验证了该优化方法的有效性。

关 键 词:体声波谐振器  薄膜体声波谐振器  梯型滤波器  带外抑制  衰减  串联电感

Optimizing Methods of the Inductor for Regulating Band Rejection of BAW Ladder-type Filter
ZHAO Kunli,GAO Yang,CAI Xun.Optimizing Methods of the Inductor for Regulating Band Rejection of BAW Ladder-type Filter[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(6):843-846.
Authors:ZHAO Kunli  GAO Yang  CAI Xun
Abstract:
Keywords:bulk acoustic wave(BAW)  film bulk wave resonator (FBAR)  ladder-type filter  band rejection  attenuation  series inductor
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