| 基于微流体技术的FBAR微质量传感器 |
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| 引用本文： | 吕启蒙,吴光敏,楚合群,JOHN D Mai,陈剑鸣.基于微流体技术的FBAR微质量传感器[J].压电与声光,2013,35(5):686-689. |
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| 作者姓名： | 吕启蒙 吴光敏 楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣 |
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| 作者单位： | 1. 昆明理工大学MEMS实验室,云南昆明,650500
2. 香港城市大学机械与生物医学工程学系,中国香港 |
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| 基金项目： | 昆明理工大学MEMS学科建设基金资助项目（14078024） |
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| 摘 要： | 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角.由于微生物分子大都生存于液体环境,而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大,其品质因数Q值只有3.53.因此,该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后,针对液相环境中传感器Q值较低问题,设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器,使其Q值达到30.85,增加了近9倍,从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能.
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器(FBAR) 微机电系统(MEMS) 微流体 微质量传感器 品质因数 |
Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor Based on Microfluidics Technology |
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| LV Qimeng,WU Gangmin,CHU Hequn,JOHN D Mai and CHEN Jianming.Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor Based on Microfluidics Technology[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2013,35(5):686-689. |
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| Authors: | LV Qimeng WU Gangmin CHU Hequn JOHN D Mai and CHEN Jianming |
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| Affiliation: | 1. MEMS Lab.,Kunming University of Science and Technology,Kunming 650500,China;;2. Dept. of Mechanical and Biomedical Engineering,City University of Hongkong,Hongkong,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FBAR MEMS microfluidic mass sensor quality factor |
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