| 硅硼玻璃相对Bi3.15La0.75Ti3O12铁电薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 王疆瑛,邬良能,江影.硅硼玻璃相对Bi3.15La0.75Ti3O12铁电薄膜性能的影响[J].压电与声光,2010,32(3). |
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| 作者姓名： | 王疆瑛 邬良能 江影 |
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| 作者单位： | 中国计量学院,材料科学与工程学院,浙江,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 浙江省教育厅基金资助项目，中国计量学院自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用加入硅硼玻璃相的溶胶-凝胶(Sol-Gol)技术,以无机物为原料,在低温下成功制备了Pt/Ti/SiO2/Si衬底上Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)铁电薄膜.XRD、AFM分析及电学性能的测i式结果表明,600～650℃退火处理的加入硅硼玻璃相BLT铁电薄膜具有单一的层状钙钛矿结构;薄膜表面平整无裂纹、致密,薄膜为多晶生长;其剩余极化强度(2Pr)为27.09 μC/cm2,矫顽场E约为53.1 kV/cm;室温下,在测试频率为1 MHz,经1.0×1011极化反转后,剩余极化值下降约10%,具有良好的抗疲劳特性;薄膜的漏电流密度低于9×10-10 A/cm2.玻璃相提高了薄膜的致密度和抗疲劳特性,降低了薄膜的漏电流密度,对剩余极化强度影响有限.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 玻璃相 电学性能 溶胶-凝胶(Sol-Gol) |
Effects of(Si,B)Glass Doping on Properties of Bi3.15 La0.75 Ti3O12 Ferroelectric Film |
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| WANG Jingying,WU Liangneng,JIANG Ying.Effects of(Si,B)Glass Doping on Properties of Bi3.15 La0.75 Ti3O12 Ferroelectric Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(3). |
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| Authors: | WANG Jingying WU Liangneng JIANG Ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Bi3 15La0 75Ti3O12 |
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