| 一种Love波器件三维建模及特性研究 |
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| 引用本文： | 文常保,靳雪莹,马跃,李演明,巨永锋.一种Love波器件三维建模及特性研究[J].压电与声光,2015,37(4):599-602. |
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| 作者姓名： | 文常保 靳雪莹 马跃 李演明 巨永锋 |
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| 作者单位： | (长安大学 电子与控制工程学院 微纳电子研究所，陕西 西安 710064) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60806043;61473047)；陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2015JM6271;2013JC2 25) |
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| 摘 要： | 为了准确表征Love波器件的质点位移和色散关系,提出了一种Love波器件三维建模方案。在Love波器件的三维建模中,该方案用有限数量单元去逼近实际Love波器件的真实物理结构和叉指换能器、波导层等实际载荷工况。通过一个压电基片材料为128°YX-LiNbO3,金属叉指换能器为Al电极,波导层材料为ZnO薄膜的Love波器件三维模型实验,验证了该Love波器件建模方案的可行性。实验结果表明,在49~51 MHz的频率范围内,Love波模态声波的频率为49.072 MHz、49.295 MHz、49.607 MHz和50.062 MHz。在这4个频率处Love波仅存在X方向质点位移的变化,Y和Z方向的质点位移都为0。器件的色散关系为随着角频率增大,Love波的速度逐渐减小。
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| 关 键 词： | Love波器件 三维建模 质点位移 色散关系 |
Study on a Three dimensional Modeling and Properties of Love Wave Device |
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| WEN Changbao,JIN Xueying,MA Yue,LI Yanming and JU Yongfeng.Study on a Three dimensional Modeling and Properties of Love Wave Device[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(4):599-602. |
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| Authors: | WEN Changbao JIN Xueying MA Yue LI Yanming and JU Yongfeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Love wave three dimensional modeling particle displacement dispersion relation |
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