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| 压电微位移器在超微定位系统中的应用 | |
| 引用本文： | 王建林,刘文晖.压电微位移器在超微定位系统中的应用[J].压电与声光,1997,19(2):95-97. |
| 作者姓名： | 王建林 刘文晖 |
| 摘 要： | 介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用，给出了一种二维超微定位机构及其控制系统，实验结果：定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨力２ｎｍ。 |
| 关 键 词： | 压电微位移器 超微定位系统 压电陶瓷 |
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