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Y型双声路声表面波质量传感器及其测量系统
引用本文:章安良,朱大中.Y型双声路声表面波质量传感器及其测量系统[J].压电与声光,2003,25(6):445-448.
作者姓名:章安良  朱大中
作者单位:浙江大学,信息科学与工程学院,信息与电子工程学系,杭州,310027
基金项目:国家自然科学基金资助项目(60176027),浙江省自然科学基金资助项目(600026)
摘    要:报道了一种在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制新型的延迟线型声表面波质量传感器及测量系统。由于环境温度对声表面波质量传感器性能影响较大,因此采用新型的Y型双声路结构克服环境温度对传感器性能的影响。阐述了Y型双声路质量传感器器件的结构及设计、测试电路的原理,对实验结果作了分析讨论。测试结果表明:器件相对温度系数仅为11Hz/°C左右,器件的质量沉积效应灵敏度为3.62GHz·cm2/g,并且具有良好的线性度。

关 键 词:声表面波传感器  质量沉积效应  声表面波延迟线  多条耦合器
文章编号:1004-2474(2003)06-0445-04
修稿时间:2003年5月26日

A Y-TYPE DUAL PATH SURFACE ACOUSTIC WAVE MASS Sensor and its Measurement System
ZHANG An-liang,ZHU Da-zhong.A Y-TYPE DUAL PATH SURFACE ACOUSTIC WAVE MASS Sensor and its Measurement System[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2003,25(6):445-448.
Authors:ZHANG An-liang  ZHU Da-zhong
Abstract:
Keywords:surface acoustic wave sensor  mass loading effect  SAW delay line  multistrip coupler
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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