| 三维压电加速度传感器的设计 |
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| 引用本文： | 黄朋生,任天令,楼其伟,刘建设,刘理天.三维压电加速度传感器的设计[J].压电与声光,2003,25(5):379-381. |
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| 作者姓名： | 黄朋生 任天令 楼其伟 刘建设 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学,微电子研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家“九七三”基金(G1999033105)，清华大学“九八五”基金 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10~(-3)V·s~2/m、2.76×10~(-3)V·s~2/m、2.96×10~(-3)V·s~2/m,并且横向灵敏度几乎为零。
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| 关 键 词： | 三维加速度计 微传感器 压电薄膜 PZT MEMS |
| 文章编号： | 1004-2474(2003)05-0379-03 |
| 修稿时间： | 2002年7月26日 |
Design of a Triaxial Piezoelectric Accelerometer |
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| HUANG Peng-sheng,REN Tian-ling,LOU Qi-wei,LIU Jian-she,LIU Li-tian.Design of a Triaxial Piezoelectric Accelerometer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2003,25(5):379-381. |
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| Authors: | HUANG Peng-sheng REN Tian-ling LOU Qi-wei LIU Jian-she LIU Li-tian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | triaxial accelerometer micro-sensor piezoelectric thin-film PZT MEMS |
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